VIBRO-METER傳感器對于壓力的測量采用的是壓力芯片，而壓力芯片在可發(fā)生壓力形變的硅膜片上集成的惠斯通電橋。該產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝，其實就是MEMS技術的實際應用，MEMS是建立在微米/納米技術基礎上的21世紀前沿技術，使之對微米/納米材料進行設計、加工、制造和控制的技術。它可將機械構件、光學系統(tǒng)、驅動部件、電控系統(tǒng)、數(shù)字處理系統(tǒng)集成為一個整體單元的微型系統(tǒng)。

　　VIBRO-METER傳感器的結構是氧化鋁膜片與中空的絕緣介質(zhì)構成一個內(nèi)部為真空的電容式壓力敏感元件，并連接傳感器混合集成電路。傳感器導入進氣管的壓力后，氧化鋁膜片在進氣壓力的作用下產(chǎn)生變形，使其電容值發(fā)生改變，經(jīng)混合集成電路處理后，輸出與進氣壓力變化相對應的電信號。

　　VIBRO-METER傳感器利用膜片構成一個電容值可變的壓力敏感元件，膜片受力變形時，其電容值相應改變，由傳感器測量電路將與壓力相對應的電容變化轉換為相應的電信號，該產(chǎn)品測量電路主要有頻率檢測式和電壓檢測式兩種。

　　1、頻率檢測式：振蕩電路的振蕩頻率隨壓力敏感元件電容值的大小變化而改變，經(jīng)整流、放大后輸出頻率與壓力相對應的脈沖信號。

　　2、電壓檢測式：壓力敏感元件電容值的大小變化，經(jīng)載波與交流放大電路的調(diào)制、檢波電路的解調(diào)后，再經(jīng)濾波電路的濾波，輸出與壓力變化相對應的電壓信號。

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